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Infrared系列1064nm主動調(diào)Q激光器
全新升級為一體機結(jié)構(gòu)，水冷卻，擁有更高的光束質(zhì)量、功率穩(wěn)定性和脈沖穩(wěn)定性，更易集成，輕松應(yīng)對透光類產(chǎn)品標記、ITO薄膜刻畫等工作。 - 產(chǎn)品應(yīng)用
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Green系列532nm高功率綠光激光器
Green系列532nm高功率綠光激光器
10-20W
激光功率
IP65
3層防護，IP65級防水
20000hours
使用壽命
梅曼公司的Elite系列高功率355nm紫外激光器是一款針對硅晶圓劃片工藝所設(shè)計的高性能激光器。其獨特的設(shè)計和先進的技術(shù)解決了紫外激光晶體損傷、激光器熱效應(yīng)以及光路失調(diào)與長期穩(wěn)定性等核心問題，
使得激光器的壽命和功率穩(wěn)定性得到質(zhì)的改變，有效保證了高強度/高一致性加工的要求。
在硅晶圓的隱切和表面切割等劃片工藝中，Elite系列高功率355nm紫外激光器表現(xiàn)出卓越的性能。它能夠高效地完成硅晶圓的劃片工藝，而且能夠保持切割道路的整齊、光滑和一致性，從而大大提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率。
此外，梅曼公司的Elite系列高功率355nm紫外激光器還具有高光束質(zhì)量和高光束穩(wěn)定性的特點，這使得其可以提供更優(yōu)秀的加工效果，減少劃片工藝中的浪費和不良品率。
| 型號 | MMEPG-532-10 | MMEPG-532-15 | MMEPG-532-20 |
| 激光參數(shù) | |||
| 波長(nm） | 532nm | ||
| 平均功率(W) | >10W@40kHz | >15W@40kHz | >20W@40kHz |
| 單脈沖能量(uJ) | ~250uJ@40kHz | ~370uJ@40kHz | ~500uJ@40kHz |
| 脈沖寬度(ns） | ~15ns@40kHz | ||
| 重復(fù)頻率 | 20kHz-500kHz | ||
| 脈沖穩(wěn)定性 | <3% rms | ||
| 長期穩(wěn)定性 | <±3% | ||
| 光束參數(shù) | |||
| 偏振比 | 垂直偏振；>100:1 | ||
| 光束直徑 | 6mm(內(nèi)置擴束鏡) | ||
| 光束圓度 | >90% | ||
| 光束質(zhì)量 | TEM00,M2<1.2 | ||
| 電源參數(shù) | |||
| 預(yù)熱時間 | 冷啟動時<15分鐘 | ||
| 供電要求 | DC12V，350W | ||
| 環(huán)境溫度 | 10-35℃，濕度<80% | ||
| 存儲溫度 | -10-40℃，濕度<90% | ||
| 物理參數(shù) | |||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 工作水溫 | 25℃ | ||
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