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Infrared系列1064nm大能量紅外激光器

產品特點

技術參數(shù)

梅曼激光公司生產的激光器在半導體加工領域有著卓越的表現(xiàn)。其具備極佳的功率穩(wěn)定性,確保了長時間穩(wěn)定運行,同時也具備卓越的光束質量,使得激光束能夠高效準確地聚焦在目標材料上,從而獲得更高的加工精度和效率。
此外,我們的激光器還具有較高的單脈沖能量,可以在短時間內產生更高的能量密度,從而更好地應對碳化硅等硬度較高的材料。
這些優(yōu)勢使得我們的激光器在碳化硅晶圓的劃片、鉆孔和切割等領域得到了廣泛應用,有效解決了碳化硅材料加工難度大的難題,為客戶提供了更加高效、精準的加工解決方案。 梅曼公司的Elite系列1064nm大能量激光器是一款非常適合這種加工任務的產品。該系列激光器不僅單脈沖能量高,可以在一次加工中形成較深的印記,而且其單脈沖能量穩(wěn)定性非常好,可以保證每一個二維碼點的加工一致性。
此外,該激光器的光束質量也非常優(yōu)越,光斑圓度非常好,能夠有效提高加工的精度和效率。
因此,梅曼公司的Elite系列1064nm大能量激光器是一款高效、穩(wěn)定、精準的激光器產品,能夠滿足客戶對于二維碼加工的嚴格要求。
這種激光器不僅能夠提高晶圓加工的效率和質量,而且還能夠為客戶提供更加可靠的加工解決方案,幫助客戶降低成本,提高生產效率。
梅曼公司的Elite系列高功率355nm紫外激光器是一款針對硅晶圓劃片工藝所設計的高性能激光器。其獨特的設計和先進的技術解決了紫外激光晶體損傷、激光器熱效應以及光路失調與長期穩(wěn)定性等核心問題,使得激光器的壽命和功率穩(wěn)定性得到質的改變,有效保證了高強度/高一致性加工的要求。 在硅晶圓的隱切和表面切割等劃片工藝中,Elite系列高功率355nm紫外激光器表現(xiàn)出卓越的性能。它能夠高效地完成硅晶圓的劃片工藝,而且能夠保持切割道路的整齊、光滑和一致性,從而大大提高了產品的質量和成品率。 此外,梅曼公司的Elite系列高功率355nm紫外激光器還具有高光束質量和高光束穩(wěn)定性的特點,這使得其可以提供更優(yōu)秀的加工效果,減少劃片工藝中的浪費和不良品率

型號 MMEPA-1064-16-HE MMEPA-1064-20-HE
激光參數(shù)  
波長(nm) 1064nm
平均功率(W) >16W@10kHz >20W@10kHz
單脈沖能量(uJ) ~1600uJ@10kHz ~2000uJ@10kHz
脈沖寬度(ns) ~20ns@10kHz
重復頻率 7kHz-20kHZ
脈沖穩(wěn)定性 <3% rms
長期穩(wěn)定性 <±3%
光束參數(shù)  
偏振比 水平偏振;>100:1
光束直徑 ~1mm(出光孔)
光束圓度 >90%
光束質量 TEM00,M2<1.3
電源參數(shù)  
預熱時間 冷啟動時<15分鐘
供電要求 DC24V,500W
環(huán)境溫度 10-35℃,濕度<80%
存儲溫度 -10-40℃,濕度<90%
物理參數(shù)  
冷卻方式 水冷
工作水溫 25℃

 

 

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應用樣品

脆性材料鉆孔,碳材料切割,激光調阻